首先是硅酸鹽陶瓷。硅酸鹽陶瓷是一種傳統且最常見的陶瓷，它在真空系統中常用的又有硬瓷、鎂鋁硅酸鹽陶瓷、鋯石陶瓷等種類。其中硬瓷密度高、抗熱沖擊能力好、熔體易加工，能制成較大的結構件。而鎂鋁硅酸鹽陶瓷則常用于真空系統內部的絕緣零件，氣密性好，能與鈦、鎳合金匹配封接，工作溫度可達900℃。鋯石陶瓷具有良好的抗熱震性、耐酸性、化學穩定性，但耐堿性不佳，等等。