技術(shù)參數(shù)
量 程:0~100ppb,0-1/10/100ppm 可選0~50/500ppb,0-5/50ppm O2 自動/手動調(diào)節(jié)。
傳感器:Pico-lon 技術(shù)燃料電池—GPR-13-2000UHP。
準確度:量程的1%(在常溫,常壓下)。
分辨率:量程的0.5%
傳感器壽命:18個月(在100ppm下)
線性度:R平方值>0.995
校準氣:建議采用80%FS O2 in N2標準氣.
響應(yīng)時間:60秒達到90%
回復(fù)時間:15分鐘從9ppm(1分鐘)到10ppb
30分鐘從1ppm(5分鐘)到1ppb
物理特征
封裝:臺式13.9" x 9.9" x 13.4"
可選:面板安裝,壁掛安裝,19”支架安裝
電器特征
認 證:ISO9001,CE認證。
顯 示:大屏幕LCD顯示,實時顯示樣氣壓力和溫度。
控制鍵:帶有四個防水按鍵,可方便地選擇量程、校準、報警和系統(tǒng)設(shè)置功能。
智能性:量程自動切換功能,數(shù)據(jù)自動存儲功能和圖形顯示,通過USB遠端控制。
溫漂抑制:帶恒溫控制系統(tǒng),并帶有自動壓力和溫度補償功能。
輸 出:RS232或USB數(shù)字接口,0~1V或隔離的4~20mA模擬輸出,量程提示輸出
報 警:兩路繼電器報警輸出,電源失敗報警輸出,傳感器失敗報警輸出。
電 源:220 V AC@50Hz。
操作條件
應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體行業(yè)
測量介質(zhì):H??2、 He,、碳氫化合物、惰性氣體等
氣路接口:進氣口采用1/4"VCR接頭,出氣口采用1/4”卡套接頭
壓力:20~50psig(最大150psig)
溫度:5~+45℃
流量:1~3 SCFH,推薦:2 SCFH(立方英尺/每小時)
樣氣系統(tǒng)
GPR-1600UHP:手動壓力調(diào)節(jié),流量控制和顯示,“零“氣組件,7個氣動閥組成旁路系統(tǒng)。
GPR-1600UHP-B:手動壓力調(diào)節(jié),流量控制和顯示,4個氣動閥組成旁路吹掃系統(tǒng)。
GPR-1600UHP-M:手動壓力調(diào)節(jié),流量控制和顯示,3個手動閥組成旁路吹掃系統(tǒng)。
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