功能調(diào)系列調(diào)阻機(jī) 

設(shè)備特點(diǎn)

?定制化：可針對客戶產(chǎn)品不同的激光調(diào)阻應(yīng)用要求，提供具有較高價值的產(chǎn)品解決方案。

?調(diào)阻精度高：獨(dú)特的測控技術(shù)，測量控制系統(tǒng)精度的一致性好，提升產(chǎn)品附加值；成品率高，單位成本下降。

?軟件可編程：可輕松實(shí)現(xiàn)客戶的不同需求以及高自動化運(yùn)行，也可作為專門的測試平臺，適應(yīng)性廣。

?使用成本低：采用了最先進(jìn)的激光器，無耗材，使用成本最低，長期使用節(jié)約大量的費(fèi)用。

?多功能：可實(shí)現(xiàn)陶瓷基片的激光劃線、打標(biāo)，減少設(shè)備的再投入。

?專業(yè)大理石基座，可有效減小工作臺啟動、停止和加速過程中產(chǎn)生的震動，同時保持機(jī)臺溫度的穩(wěn)定性，可靠性高。

主要技術(shù)參數(shù)

激光系統(tǒng)

型號規(guī)格

LT

激光波長

1064nm

激光功率

10W

典型光斑尺寸

35±5μm

對焦方式

自動，計(jì)算機(jī)程序控制

冷卻方式

風(fēng)冷

激光束定位系統(tǒng)

激光束運(yùn)動范圍

60mm  X  60mm

運(yùn)動分辨率

0.76μm

重復(fù)定位精度

±5μm

分步重復(fù)運(yùn)動系統(tǒng)

運(yùn)動方式

精密閉環(huán)XY平臺

運(yùn)動范圍

300mm*300mm

重復(fù)定位精度

±10μm

最大運(yùn)動速度（空載）

180mm/s

測量系統(tǒng)

電阻測量方式

四線制測量或二線制測量

電阻測量精度

中阻0.05%

電阻測量范圍

0.1Ω-100MΩ

測量速度

25μs/次

零點(diǎn)及滿程誤差校正

自動校正

探針定義

可編程任意設(shè)定

探針板運(yùn)動

自動，計(jì)算機(jī)程序控制

聯(lián)系人：程工

手機(jī)：15671696608

座機(jī)：027-59721015

傳真：027-59721017