儀器簡介：
德國徠卡(LEICA)在智能數字式金相顯微鏡DM4000M基礎上提供了6英寸的移動平臺,適合半導體行業對硅片檢查的要求.智能化的操控與頂尖光學品質的結合為半導體行業提供高效率的工具.
技術參數：
? 智能型操作, 智能型照明,  ? 恒定色溫, 圖像無顏色差別  ? 反射光明場, 暗場, 偏光, 微分干涉, 熒光  ? 透射光明場, 暗場, 微分干涉  ? M32 六位物鏡轉換  ? 專用平場消色差, 平場半復消色差暗場物鏡, 平場復消色差暗場物鏡,  ? 可接顯微硬度儀, 繪圖儀, 宏觀儀  ? 可接微分干涉臺階儀進行高精度測量  ? CCD或照相系統,  ? 與多種顯微圖像分析軟件共用  ? 可升級為其他觀察方法  ? 無限遠光路
主要特點：
1,智能型按鍵操作, 實現型照明,智能CICC技術使色溫恒定, 圖像無顏色差別,更可100%記憶并恢復已觀察的條件  2,光強,光欄,反射光模塊液晶顯示屏,顯示即時狀態  3,手動調焦  4,6英寸硅片專用機械載物臺,可配電動