日本山武(YAMATAKE)氣體質量流量計 1.CMS9500/0002/0005/0020/0050/0200/0500、CMS0010/0050/0200/0500/1000/2000等CMS系列氣體質量流量計是高可靠型氣體質量流量計，CMS系列氣體質量流量計使用了由山武公司新近開發的微流量傳感器，這種傳感器是感熱式流量傳感單元。超小型結構，高精度的傳感器，高密度集成電路設計技術的結合使這種儀表具有精度高、測量范圍大且成本低的優點。 2.CMQ9200/9500/0002/0005/0020/0050等CMQ系列氣體質量流量計是高機能型數字式氣體質量流量控制器，它使用了山武公司研制的感熱式微流量傳感器uF和比例電磁閥的先進技術。因此CMQ是一種高性能、低成本的產品。CMQ具有相應快、控制范圍寬的特點，能滿足多種工業控制要求。