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伺服減速機行星齒輪傳動裝置的重量，一般情況下正比于齒輪的重量，而齒輪的重量與其材料和熱處理硬度有很大關(guān)系。例如在相同功率下，滲碳淬火齒輪的重量將是調(diào)質(zhì)齒輪重量的1/3左右。所以針對行星齒輪減速機的結(jié)構(gòu)特點和齒輪的載荷性質(zhì)，應(yīng)該廣泛采用硬齒面齒輪。獲得硬齒面齒輪的熱處理方法很多，如表面淬火，整體淬火、滲碳淬火、滲氮等，應(yīng)根據(jù)行星齒輪減速機的特點考慮選定。

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　　表面淬火

　　常見的表面淬火方法有高頻淬火（對小尺寸齒輪）和火焰淬火（對大尺寸齒輪）兩種。表面淬火的淬硬層包括齒根底部時，其效果最好。表面淬火常用材料為碳的質(zhì)量分數(shù)約0.35%~0.5%的鋼材，齒面硬度可達45~55HRC。

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