主要特點(diǎn)：
HIS 13 
HIS 13高強(qiáng)度紫外光源具有極高的光強(qiáng)、優(yōu)秀的He II/He I比、和極小的離散角。壓電點(diǎn)火裝置、對(duì)準(zhǔn)和點(diǎn)火控制觀察窗、以及內(nèi)置的皮拉尼計(jì)等使操作變得十分簡(jiǎn)便。另外還可以根據(jù)需要選配超環(huán)面反射聚焦鏡和線性極化器等。 DAR 400 DAR 400雙陽(yáng)極X光源具有可靠、穩(wěn)定的性能，可以提供高強(qiáng)度、低干擾的Al Ka或Mg Ka X射線。其最大功率可達(dá)400 W，而且設(shè)計(jì)有高性能的水冷，避免了對(duì)樣品的加熱效應(yīng)，同時(shí)延長(zhǎng)使用壽命。 

XM 1000 XM 

1000是最新型的單色X光源。500mm直徑羅蘭圓、四塊石英晶體和300W/600W雙工作模式的設(shè)計(jì)使XM 1000不但具有極小的展寬，同時(shí)具有極高的X光強(qiáng)度。可以大大提高XPS分析中的能量分辨率和靈敏度。

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