日本azbil山武CMS氣體質量流量計品牌：AZBIL/山武(成立于1906年)
型號：CMS系列
類型：氣體質量流量計
測量范圍：2ML-2000L/MIN（可選）
精度等級：±2%RD
適用介質：空氣/氮氣/氧氣/氬氣/氫氣/氦氣/氨氣/二氧化碳/城市煤氣13A/甲烷/丙烷/丁烷/乙炔（不含腐蝕性成分）
耐壓：1.5MPa
工作溫度：-10~+60℃

山武CMS是一種氣體質量流量計，使用了山武公司研發的微流量傳感器μF單元。這一傳感器是一個芯片型感熱式質量流量傳感器，直接安裝于流體管路中，可以測量低流速的流體流量，使CMS具有100:1的測量比。微流量傳感器芯片與先進的流體管路設計的結合，使該儀表測量精度高、量程比大，且成本低。
特點：
1：由于采用直接質量流量測量，因此實現了不受溫度、壓力變動影響的準確測量；
2：實現了±2%RD的精度，0.5%FS的重復性、100:1的高量程能力；
3：CMS具有瞬時、累計流量顯示、模擬輸出、累計脈沖輸出、事件輸出2點、模擬輸出定標功能以及RS-485通信功能；
4：采用山武公司的管內壁測量方式，實現了500PA（CMS200一次壓力49KPA）的低壓力損失。

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