五、PVD涂層與其他表面處理的比較1、CVD簡介（ChemicalVaporDeposition——化學(xué)氣相沉積）（1）將各種化學(xué)反應(yīng)物質(zhì)：如四氯化鈦（TiCl4）和甲烷（CH4）等含碳?xì)怏w（或其它碳氮?dú)怏w）蒸氣等通入反應(yīng)爐體內(nèi)，在高溫（900~1200℃）狀態(tài)下，TiCl4中的鈦（Ti）和碳?xì)浠衔镏械奶迹–）在模具表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，從而生成一層金屬化合物涂層碳化鈦（TiC）。利用不同的反應(yīng)物，可得到不同的薄膜，如TiN、Ti（CN）、CrC等等。（2）CVD的優(yōu)點(diǎn)：      ①鍍膜與基材的附著性優(yōu)良；       ②復(fù)雜的形狀都可以處理：如深孔、內(nèi)管、細(xì)縫等。（3）CVD的優(yōu)點(diǎn)：      ①鍍膜溫度太高，對基材和反應(yīng)設(shè)備的耐熱性要求很高，很多工件難以承受；      ②高溫使基材尺寸變化和變形嚴(yán)重，故適于精密度高的工件；      ③對于要求工件局部鍍膜，難以實(shí)現(xiàn)；       ④活潑性氣體源的使用，制程中有爆炸、毒性氣體泄漏等隱患，且對環(huán)境有污染。2、TD簡介（ThermalDiffusionCoatingProcess——熱擴(kuò)散法碳化物覆層處理）（1）在空氣爐或鹽槽中放入一個耐熱的坩堝，將硼砂放入坩堝加熱熔化至800~1200℃，然后加入相應(yīng)的碳化物形成粉末（如鈦、鋇、鈮、鉻），再將鋼或硬質(zhì)合金工件放入坩堝中浸漬保溫1~2小時，加入元素將擴(kuò)散至工件表面并與鋼中的碳發(fā)生反應(yīng)形成碳化物層（如：VC—碳化釩；CrC—碳化鉻），所得到的碳化物層具有很高的硬度和耐磨性。（2）TD最主要適合于鉻鋼的工件。（3）TD的優(yōu)點(diǎn)：
      ①覆層與基材的附著性優(yōu)良；       ②覆層的厚度較厚。3、電鍍硬鉻（Cr）簡介（1）用鉻酐、硫酸和添加劑等配制成電鍍液，將工件放入溶液中電鍍金屬鉻沉積在工件表面形成鍍層。（2）實(shí)際上所謂“鍍硬鉻”，其鉻層硬度并不比裝飾鉻層硬度高，只因其鍍層較厚，故能發(fā)揮其硬度高、耐磨的特點(diǎn)，故稱鍍硬鉻。（3）鍍硬鉻的優(yōu)點(diǎn)：①工件大小不受限制；②鍍層厚度較厚，可以適當(dāng)彌補(bǔ)因加工超差的工件尺寸；③成本較低。4、滲氮的簡介（1）氮化：將待處理的工件放在滲氮爐中，爐內(nèi)加溫500~700℃，充入的含氮?dú)怏w在高溫狀態(tài)下分解后產(chǎn)生活性氮原子，被剛才表面吸收滲入其中并且不斷自表面向內(nèi)擴(kuò)散，形成氮化層，表面硬度可達(dá)900~1100HV。（2）氮化的優(yōu)點(diǎn)：①工件大小不受限制；②氮元素與工件基材結(jié)果，故結(jié)果牢固；③成本較低。