反滲透（膜分離）技術的應用使反滲透超純水設備從傳統的陽離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復合離子交換器得到了一次進步。近年來開始在國外推廣應用的EDI（電去離子）技術，則是超純水制造技術的一次革命，從此進入了一個無需再生化學品，而能生產出高達18MΩ·CM的超純水，用于半導體、集成電路等行業。 反滲透超純水設備是采用專用RO技術設計，關鍵部件、設備采用進口名牌產品，工藝先進，質量可靠，可擴展性強，結構合理占地小，水利用率高，能耗低，全自動化運行，操作維護簡單。一般產水下限0.25m3/hr，上限不限，水回收率一般可達75%以上，脫鹽率＞98%。產水量隨進水溫度下降和反滲透膜老化或受污染有一定變化。 　　 反滲透超純水設備典型工藝流程為： 　　 1: 預處理－反滲透－純化水箱－離子交換器－紫外燈-純水泵－用水點 　　 2: 預處理－一級反滲透－二級反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點 　　 3: 預處理－反滲透－中間水箱－中間水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點 　　 4: 預處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點反滲透純水系統廣泛應用于： 電子工業用水 　集成電路、硅晶片、顯示管等電子元器件沖洗水 制藥行業用水 　大輸液、針劑、片劑、生化制品、設備清洗等批量生產 水凈化設備 純凈水處理設備 化工行業工藝用水 　化工循環水、化工產品制造等 電力行業鍋爐補給水 　火力發電鍋爐、廠礦中低壓鍋爐動力系統批量生產 水凈化設備 純凈水處理設備 食品工業用水 　飲用純凈水、飲料、啤酒、白酒、保健品等 海水、苦咸水淡化 　海島、艦船、海上鉆進平臺、苦咸水地區 飲用純凈水 　房產物業、社區、企事業單位等 其它工藝用水 　汽車、家電涂裝、鍍膜玻璃、化裝品、精細化學品等