杜瓦罐烘箱抽真空裝置包括：雙級旋片式真空泵、電磁真空帶充氣閥、羅茨真空泵、擴散真空泵、電阻規、電離規、杜瓦罐烘箱。
一、雙級旋片式真空泵
每秒抽氣速率30升（70升）
極限真空為6×10-2pa
30升的功率為3KW（70升功率5.5KW）
二、電磁真空帶充氣閥
三、羅茨真空泵
極限真空為5×10-2pa
速率每秒150升的功率為3KW
速率每秒300升的功率為5.5KW。
四、擴散真空泵
擴散泵的極限真空是7×10-5pa
口徑150mm的功率是1.5KW。
五、電阻規
電阻規為測量低真空的測量探頭
六、電離規
電離規為測量高真空的測量探頭
七、杜瓦罐烘箱
自動溫控0-400度可調
復合數顯真空儀表
烘箱功率6KW