GAGETEK傳感器
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成立超過10年的GAGETEK數字輸出用于運輸,物料處理和專門的稱重傳感器技術應用的目的。一路上,GAGETEK的工程師開發了一種革命性的新扭轉載荷細胞,可以容忍斷軸負載,GAGETEK最優秀的新產品在行業內獲得了稱贊。其中一個最有趣的產品,GAGETEK已經開發出便攜式秤包的動物園,讓動物園的平臺,展示區,和工作人員只需要攜帶手提秤系統的展出面積,把平臺負載細胞和動物可以被測量。在過去的一年中,GAGETEK已經開發了一個定制的規模與電子監控量在20磅的丙烷罐丙烷-這是常用的燒烤爐,戶外取暖器。
GAGETEK稱重傳感器實際上是一種將質量信號轉變為可測量的電信號輸出的裝置。GAGETEK稱重傳感器應用:離軸加載和非平行安裝不敏感;堅固耐用的設計,耐沖擊負荷,過載高達15X;不需要昂貴的安裝結構;高靈敏度,高分辨率;通孔設計,方便安裝;表面可進行鉆孔和攻絲。
角速度傳感器裝置
摘要
車架體和音叉型振動子是由一個單一的晶體硅基板的。 振動元件具有延伸相互平行臂。 在框體的各邊都位于面對面地與從臂一個預定的距離。 薄部位于部分在振動元件的臂厚部之間形成的。 壓電性元件,用于檢測角速度被設置在薄的部分。 當靜電力的框體和臂的雙方施加的武器很高興振動。 在這個時候,當角速度施加,臂振動的方向交叉成直角的方向興奮。 壓電性元件檢測所引起的角速度與穩定特性和更高的靈敏度臂的振動。
描述:
本角速度傳感器元件由具有預定厚度t1,在單晶硅襯底1。 在硅襯底1包括P-型單晶硅襯底1a和上外延生長N型硅層1b在其上。 方形環狀框架體2和一個音叉形的振動子3頃dividably通過蝕刻預定區域出來的單結晶硅基板1與切割它們與金屬模具形成。 框體2是由一個底部2a,一頂部2b和兩個側部2c和2d的。 音叉型振動子3由底部2a支撐。 底部部分2a與框體2的頂部2b在x軸方向延伸,而側面部分2c和2d在z軸方向延伸。
 
在本實施例中,側部2c中的框體2和2d都固定電極部分。
 
振動元件3包括一對臂4和5延伸的互相平行的,并在連接臂4和5在框體2的連接部6。 側部2c與框體2的2d是設置面對面與從沿z軸方向延伸的每個臂4和5的預定空間。
 
兩個臂4和5中的振動元件3的是棱柱形。 薄的部分9,這是一個部分變薄,在y軸方向上,形成在厚部7和8之間的臂4的中間。 厚部7更靠近于臂4的端部比薄的部分9用作質量(重量部)。 薄部12類似地形成在厚部分10和11之間的臂5的中間。 厚壁部10位于更靠近于臂5的端部比薄的部分12用作一個質量(重量部)。 此外,兩個臂4和5連接到振動元件3的連接部6通過根部分4a和5a減薄在x軸方向,分別為。
 
壓電抗元件13a,13b作為應變敏感元件形成在臂4的薄壁部9的N型硅層1b上。 壓電性元件14a和14b也形成在臂5的薄壁部12的N型硅層1b。 窗扇或帶狀的壓電性元件13a和13b,14a和14b是由摻雜的N型硅層1b與P型雜質而形成的。 而壓電性元件13a和14a在Z軸方向延伸,在壓電性元件13b和14b中在x軸方向延伸。
 
的P型雜質擴散區15,擴散深度,其中到達P型單晶硅基板1a,形成在上面的框體2的側部2c的底面的N型硅層1b。 到達P型單晶硅襯底1a中的P型雜質擴散區16也形成于框體2的側部2d底部的N型硅層1b。 PN結的P型雜質擴散區15和16分離并分開框體2從N型硅層的其他區域1b中(2B,2C的底部2a的N型硅層1b和2D)。 也就是說,在振動元件3和框體2的底部2a上的N型硅層1b是電從上方部分2b上的N型硅層1b和側部2c和的二維分離框體2。 在側部2c與框體2的2d中的N型硅層1b為固定電極,并在該振動元件3的N型硅層1b(更具體地說,臂4和5)作為一個被激發的可動電極。
 
一系列的正方形電極(鍵合焊區)17,18,19,20和21被設置在框體2的底部2a的表面上。 與在框體2的底部2a上的N型硅層1b的電極21電接觸。
 
方的電極(鍵合焊區)22和23被設置在側部2c與車架體2的2d的表面上。 兩個電極22和23與在側部2c和2d中的N型硅層1b和框體2的上半部分2b的電接觸。
 
主要型號:2000系列、4000系列 18001897338