一、儀器用途 TBM-800 半導體檢測儀是檢測雙極型晶體管的基區寬度,半導體晶片的直徑、平整度、光潔度、表面污染、傷痕等,刻蝕圖形的線條長、寬、直徑間距、套刻精度、分辨率以及陡直、平滑必不可少的儀器。配備大視野目鏡與偏光觀察裝置,透反射照明采用“柯勒”照明系統,視場清晰。可用于半導體硅晶片、LCD基板、電路板、固體粉未及其它各種透明或不透明工業試樣的檢驗,是生物學、金屬學、礦物學、精密工程學、電子工程學等研究的理想儀器,廣泛應用在工廠、實驗室和教學及科研等領域。
二、產品特點 配置大視野目鏡和長距平場消色差物鏡(無蓋玻片),視場大而清晰。配置大移動范圍的載物臺,能快速和慢速移動。粗微動同軸調焦機構,粗動松緊可調,帶鎖緊和限位裝置,微動格值:2μm。6V 20W鹵素燈,亮度可調。三目鏡筒,可自由切換正常觀察與偏光觀察,可進行100%透光攝影。不僅可以在目鏡上作顯微觀察,還能在計算機顯示屏幕上觀察實時動態圖像,并能將所需要的圖片進行編輯、保存和打印。
上海團結儀器有限公司 電 話:021-6855 3288 http://www.tjmade.com
三、技術參數 1.目鏡類型 放大倍數 視場(mm)
大視野目鏡 10X φ18
2.物鏡類別 放大倍數 孔徑數值 工作距離(mm)
長距平場消色差物鏡 5X 0.12 9.7
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10X 0.25 9.3
20X 0.40 7.2
40X 0.60 3.0
80x 0.80 1.2
3.光學放大倍數:50X 100X 200X 400X 800x
4.三目鏡,傾斜30?,(內置檢偏振片,可進行切換)
5.五孔轉換器 (外向式滾珠內定位)
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6.載物臺:三層機械移動式,尺寸: 250mmX230mm,移動范圍: 154mmX154mm
7.粗微動同軸調焦, 微動格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
8.照明系統:6V 20W鹵素燈,亮度可調;帶視場光欄、孔徑光欄,起偏振片,,
9.濾色片組:(黃,藍,綠,磨砂)
10.特有防霉系統