1.凈化存儲柜為高潔凈度通風保管柜,適用于半導體生產工藝過程中存放成品、半成品和材料等 。
2.凈化存儲柜主要由高效空氣過濾 、通風機、電器控制系統、柜體、門等組成。
3.柜體采用銀白色噴砂電泳鋁材作框架,拉絲不銹鋼材料作面板,外形美觀。
4.工作區全部為拉絲不銹鋼板, 四層擱架牢固可靠,前面安裝有染色有機玻璃門
5.凈化存儲柜主要指標:
(1).凈化級別:100級
(2).平均風速(m/s):0.25—0.45
(3).工作區尺寸920×350×1315mm(寬 ×深×高)
(4.)外形尺寸1000×815×1850 mm(寬×深×高)
(5).氣流狀態:氣流為水平單向流,送風機具備兩檔轉速,開門時,高速運行,平時低速運行。
(6).振動:X、Y、Z方向≤5цm
(7).噪聲:≤64分貝
(8).功率≤0.5kw