PECVD裝片房
PECVD裝片房用途規格：

?   能準確的使石墨舟承載裝片車定位

?   能夠使用石墨舟承載車在里面傾斜15度或旋轉180度

?    配置經中效、高效過濾器過濾后的凈化空氣根據要求定時向機內循環吹風

PECVD裝片房技術要求：

?    整個冷卻房采用不銹鋼制作，保證整個設備堅固可靠

?    節電效果，小車進入后自動啟動吹風，冷卻到規定時間或小車離開自動停止吹風

?    為防止被小車撞擊后移動，減震地腳選用能安裝膨脹螺釘的地腳