激光掃描顯微鏡的優(yōu)勢 非接觸式、無損、快速成像和測量 ○ 非接觸式、無損測量 激光掃描顯微鏡（LSM）采用低功率激光，不接觸樣品。因此，不像基于探針系統(tǒng)的接觸式表面粗糙度測量儀那樣存在損壞樣品的風險。 ○ 無需前期準備即可成像 掃描電子顯微鏡（SEM）在觀察之前需要進行前期的樣品準備，如真空脫水和/或切片處理，使之適合樣品室。而LSM則無需前期的樣品準備即可對樣品進行測量。而且，將樣品放置在載物臺上之后，即可直接開始成像。 卓越的XY測量 ○ 在XY平面精確測量亞微米級的距離 干涉儀是基于普通白光的光學顯微鏡，它的平面分辨率不高。而LSM通過采用更大數(shù)值孔徑的物鏡和更小波長的光波，極大地提高了平面分辨率。并且通過高精度的激光控制技術，獲得更為精確的樣品表面形貌。根據(jù)拍攝到的圖像，LSM可以進行非常精確的XY平面亞微米測量。LEXT OLS4100達到了0.12??m的平面分辨率。 聯(lián)系人 區(qū)經(jīng)理 電話 13823581593 QQ 2868059266 地址 深圳市福田區(qū)八卦三路88號榮生大廈702室 固定電話：0755-25870896 網(wǎng)址 www.ges-tech.cn