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西尼特(北京)科技有限公司

主營:馬弗爐,管式爐
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[供應]1700℃井式氣相沉積爐CVD爐
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  • 產品產地:北京
  • 產品品牌:西尼特
  • 包裝規格:CVD-17
  • 產品數量:200
  • 計量單位:臺
  • 產品單價:0
  • 更新日期:2015-04-23 08:23:32
  • 有效期至:2015-05-24
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1700℃井式氣相沉積爐CVD爐 詳細信息

※產品用途:

CNT生產的CVD(真空化學氣相沉積爐)是一種用于在基片上生成高質量TiC、SiC、SiO2、Si3N4專用設備。淀積溫度能夠較高  (100~1700℃可調  )  ,它已成為機械制造工業、冶金工業、光學工業、半導體工業等領域微電子和光電子領域科研和生產不可缺少的設備。

※產品特點:

CNT公司CVD設備主要由全真空專用不銹鋼腔體,分子泵或擴散泵高真空系統,電源,生長機體載體及溫控系統,獨立排氣和生長壓力調節系統,冷卻循環水輔助設備等組成。整機結構緊湊、操作方便、抽真空速度快。此設備控制系統采用邏輯按鈕手動控制與工控機自控控制可選。實現真空抽氣和鍍膜工藝一體化功能。此設備可用于制作SiO2、Si3N4、非晶Si:H、多晶Si、SiC、W、Ti-Si、GaAs、GaSb等介電、半導體及金屬膜等。


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