LM滾珠滾動塊 LR1547Z LR2055Z LR2565Z LR3275Z LR50130 LRA1547Z LRA2055Z LRA2565Z LRA3275Z LRA4095 LRA50130 THK直線導軌的材料與測量 THK直線導軌是集精密位置檢測技術、驅動技術、直線導向技術、控制技術等多項技術為一體的有機綜合體。在這些技術中,如果某一個方面得到改進或提高,將使THK直線導軌整體性能得到提高。如,當工件臺驅動方法是采用直接驅動而不是間接驅動時,由于減少了傳動鏈長度和傳動環節中的誤差傳遞,將使工件臺的精度、速度和加速度性能都得到提高。因此應當及時引用新材料、新技術來滿足工件臺發展的需要。 研究光刻技術的同時,也積極開展對工件臺的研究,不斷研制出高精度、高速度、大行程的工件臺來滿足光刻技術發展的需要。在過去的幾十年里,應用于光刻技術中的THK直線導軌在材料、測量技術、驅動技術、控制技術等方面有了長足的進步,使工件臺朝高精度、高速度、大行程的方向發展。現列舉如下: 1.材料. 工件臺中所用的材料直接影響著工件臺的性能,如,應盡量采用低密度、高剛度的材料,這樣可以減輕系統的重量,提高整個系統的剛度,從而提高工件臺的動態性能。為此,通常采用鋁合金、碳化硅等密度小、楊氏模量大的材料 為了減少溫度、振動等外界環境對工件臺精度的影響,對工件臺所在的環境要采取嚴格的溫度控制和隔振措施 在工件臺的測量系統中常用殷鋼作為基座,采用零膨脹玻璃作為基準反射鏡材料。近年來研究人員利用Zerodur(微晶玻璃材料的一種)的低膨脹系數和良好的加工性能,加工制作工件臺中的測量部件和其他重要零件。表1-1列舉了工件臺中常用的幾種材料的特性。 天津昶晟隆機械配套設備商貿有限公司,是日本THK集團,韓國SBC線性導軌滑塊,臺灣HIWIN導軌滑塊,銀泰PMI直線導軌,ABBA直線導軌,CPC直線導軌,TBI線性滑軌,STAF直線導軌的代理銷售商。如貴公司長期使用特定的型號、定期維修需要的配件,可以跟我司銷售人員聯系,我公司可以提前給您備貨,以滿足您正常生產使用的需要。歡迎您通過以下方式與我公司聯系。 地址:天津南開區密云路39號 電話:022-27695326 傳真:022-27693648 郵箱:[email protected] 聯系人:張先生(13821823302) QQ咨詢:1873330965 、1398217820 、 761233601 天津昶晟隆網址:http://www.tjcsl.cn