上海豫滬實業有限公司是一家現代民營股份制企業,專業生產C15不銹鋼管,BA不銹鋼管, EP不銹鋼管, 不銹鋼精密管,不銹鋼冷軋鏡面管,BA管件,EP管件,超潔凈不銹鋼管,AP管件。主要用于半導體、集成電路、微電子、光電子、液晶、多晶硅、單晶硅等高科技行業的客戶,潔凈、超純管道系統的超純不銹鋼光亮退火管,電解拋光管等。
管材種類:酸洗(Ra≤2.5μm)、機械拋光(Ra≤0.4μm)、光亮退火(Ra≤0.4μm)、電解拋光(Ra≤0.3μm)
管材規格:日制(A):6A-800A 公制(ISO):φ6-φ219 英制(Inch):1/4\"-4\"
可定制外徑1-30MM,壁厚0.15-5MM,內壁光潔度Ra可達0.2um的各種高性能,高精度管和超長管;外徑極限偏差±0.01mm,內徑極限偏差±0.025mm,內孔圍度公差0.020mm外徑為 1.3mm - 3.Omm,壁厚為 0.015mm - 0.08mm,全長為1.5mm - 6.Omm的金屬精密管滿足有很高的尺寸精度和要求。 1。表面粗糙度小于0.2um
2. EP膜層厚度20-40埃
3. 膜層鉻鐵比例不小于 1.65 : 1 ;表面氧化鉻與氧化鐵比例不小于 2.2:1.0 .
4. 執行標準: SEMI F17-95 ;SEMIF19-95.
5. 檢測標準: SEMI F37-0299;ASTM F1375-92;ASTM F1372-93