無塵室有五個(gè)特性：

  (l)耐久性；

  (2)成本；

  (3)適應(yīng)性；

  (4)可維護(hù)性；

  (5)清洗。

  (1) 耐久性：要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性，同時(shí)也依賴無塵室等級(jí)來建造。半導(dǎo)體 Fabs 傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質(zhì)。

  (2) 清洗：在制藥和生物工學(xué)工業(yè)，無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過性病毒或細(xì)菌的污染之特性。在 biotech 市場，清洗真正地是一個(gè)最重要的企業(yè)。

  (3) 成本：微電子C/R 建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到$10億。fab 能更快的被建造起來，產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場。許多半導(dǎo)體公司的口號(hào)是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個(gè)很重要的考慮因素。

  (4) 適應(yīng)性：一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動(dòng)或改變而不會(huì)招致極大的損失。C/R 的擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變一 C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將最初的設(shè)計(jì)定型。

  (5) 維護(hù)性：對(duì)C/R 而言，較嚴(yán)格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。至于維修的問題，對(duì)材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應(yīng)有其優(yōu)先級(jí)。凈化車間

  在應(yīng)用力面、天花板、地板及墻壁三者之中最重要的為天花板，其包含 HEPA 及 ULPA 等濾網(wǎng)，其可過濾掉房間的微粒子，且其常會(huì)因各個(gè)不同的需要，便其分開來，供應(yīng)各個(gè)不同區(qū)域的小房間，曾有人說 :若建造之預(yù)算因某種原因被限制，除了少數(shù)的小錢外，其天花板將趨于更貴的地步，其實(shí)天花板是一個(gè)頗復(fù)雜的系統(tǒng)其必須嚴(yán)格地過濾粒子，故其設(shè)計(jì)必須精確。

  許多了解無塵室的人都贊同，第一次擁有無塵室的擁有者，應(yīng)使用較好之C/R 建筑或工程設(shè)計(jì)公司或了解建筑C/R設(shè)計(jì)之建筑承包商若假設(shè)他們不了解， 則必會(huì)浪費(fèi)一大筆不必要花的錢，故選擇一建造C/R 的公司也是非常重要的。凈化車間

  對(duì)C/R 而言，其選擇地板的材料也是很重要的。低廉的 C/R 地板覆蓋著一層乙烯基在薄板上，若太硬的地板覆蓋會(huì)引起塵埃，而太軟的地板會(huì)造成地板彎曲甚致破裂，但并不是所有 C/R 的地板，都會(huì)覆蓋，乙烯基。有些地板是沖孔式、格子式，而全面層流都是沖孔式。

  乙烯基有一作用即脫氧，但高濃度乙烯基與其它物若混合的話將會(huì)有減低脫氧的效果，而無塵室的墻若以鋁作為材料則將會(huì)非常昂貴，但鋁卻可以保護(hù)墻面不被空氣所氧化，可是卻易受酸性氣體的侵蝕，而避免的方法是使用電鍍，便鋁表面增厚，不易氧化，再在鋁表面上再涂上一層亮光漆即可防止金屬氧化。

  對(duì)于半導(dǎo)體工業(yè)而言，無塵室是一必要且不可缺之設(shè)備，其對(duì)空氣中的粒子要求非常之嚴(yán)格，故對(duì)天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴(yán)格。地板是人員、臺(tái)車及重量的運(yùn)輸，而清除地板所用者大部分為消毒藥品及化學(xué)藥品，當(dāng)我們看見地板磨損時(shí)，也就是使用期已太久，快破裂了，不僅會(huì)使得清靜度的降級(jí)，也會(huì)因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。

  另外，最怕的就是粒子泄漏。天花板中的濾網(wǎng)有很多種。例如層流式 C/R 而花板的組成組件包含了HEPA/ULPA 濾網(wǎng)組燈光組亦有可能包含空白的嵌板，這類型的天花板優(yōu)點(diǎn)為，放置方式并沒有嚴(yán)格的限制。

  C/R 之墻壁還有一種是以薄鋼制成，但必須在表層涂上一層保護(hù)層，否則亦會(huì)腐蝕，它并不容易電鍍，而在表層涂上的保護(hù)層會(huì)變得易碎，很容易剝落，但若選擇高質(zhì)量的不銹鋼，就不必涂上保護(hù)層7，而使用玻璃作的 C/R 會(huì)使得房間的光線大增，以及美觀，但必須涂上一抗紫外線的障礙物，且可以視覺互通，較不會(huì)產(chǎn)生幽閉恐懼癥。

  無塵室用空調(diào)箱選用時(shí)應(yīng)注意的事項(xiàng)

  本篇文章所討論到問題就是選用潔凈室之AHU 所應(yīng)考慮到的問題。對(duì)每個(gè)工程師或設(shè)計(jì)師而言，選用潔凈室的空調(diào)系統(tǒng)大概是最復(fù)雜的問題之一，因?yàn)闈崈羰抑照{(diào)條件要比平常的空調(diào)區(qū)間來的復(fù)雜且較嚴(yán)格，人都用于醫(yī)院、藥品制造、精密電子零件制造場等。

  選用正確的設(shè)備是設(shè)計(jì)者應(yīng)盡的義務(wù)。本篇文章將其分成幾個(gè)部份作討論，吾將其作為整理后作成下列報(bào)告。

  (一)

  各個(gè)國家政府對(duì)清凈式的設(shè)計(jì)條件要求不同，應(yīng)注意設(shè)計(jì)時(shí)政府之時(shí)令。設(shè)計(jì)清凈室之 AHU 應(yīng)府合 FDA 法規(guī)或 EPA 排放空氣法則。 IAQ 已漸漸被重視，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)注意 IAQ 之法規(guī)。 視使用場合而定，過濾方法又可分成機(jī)械過濾法與化學(xué)過濾法。初級(jí)過濾，中級(jí)過濾，高效過濾與無菌的環(huán)境以機(jī)械過濾法即能達(dá)成。為達(dá)到排氣之環(huán)境要求化學(xué)洗滌器 (scrubber)&nb