技術參數

量      程：0~100ppb，0-1/10/100ppm    可選0~50/500ppb，0-5/50ppm O2  自動/手動調節。

傳感器：Pico-lon 技術燃料電池—GPR-13-2000UHP。

準確度：量程的1%（在常溫，常壓下）。

分辨率：量程的0.5%

傳感器壽命：18個月（在100ppm下）

線性度：R平方值> 0.995

校準氣：建議采用80%FS O2 in N2標準氣.

響應時間：60秒達到90%

回復時間：15分鐘從9ppm（1分鐘）到10ppb

30分鐘從1ppm（5分鐘）到1ppb

物理特征

封裝：臺式13.9" x  9.9" x  13.4"

可選：面板安裝，壁掛安裝，19”支架安裝

電器特征

認    證：ISO9001，CE認證。

顯    示：大屏幕LCD顯示，實時顯示樣氣壓力和溫度。

控制鍵：帶有四個防水按鍵，可方便地選擇量程、校準、報警和系統設置功能。

智能性：量程自動切換功能，數據自動存儲功能和圖形顯示，通過USB遠端控制。

溫漂抑制：帶恒溫控制系統，并帶有自動壓力和溫度補償功能。

輸    出：RS232或USB數字接口，0~1V或隔離的4~20mA模擬輸出，量程提示輸出

報    警：兩路繼電器報警輸出，電源失敗報警輸出，傳感器失敗報警輸出。

電    源：220 V AC@50Hz。

操作條件

應用領域：半導體行業

測量介質：H--2、 He，、碳氫化合物、惰性氣體等

氣路接口：進氣口采用1/4"VCR接頭，出氣口采用1/4”卡套接頭

壓力：20~50psig（最大150psig）

溫度：5~+45℃

流量：1~3 SCFH，推薦：2 SCFH(立方英尺/每小時)