我公司設(shè)計(jì)制造的SV系列PVD多弧離子鍍膜機(jī)主要由以下部分組成: 1.真空筒體:采用全不銹鋼制造,雙層水冷結(jié)構(gòu) 2.抽氣機(jī)組:采用旋片泵+羅茨泵+擴(kuò)散泵組合的高效率真空機(jī)組 3.轉(zhuǎn)架系統(tǒng):采用不銹鋼轉(zhuǎn)架,自轉(zhuǎn)與公轉(zhuǎn)相結(jié)合的行星運(yùn)轉(zhuǎn)方式 4.水冷系統(tǒng):采用全水套的水冷方式,冷卻效率高 5.電源系統(tǒng):設(shè)計(jì)先進(jìn),性能穩(wěn)定可靠 6.進(jìn)氣系統(tǒng):采用優(yōu)質(zhì)質(zhì)量流量計(jì)結(jié)合自主研發(fā)的控制系統(tǒng),確保進(jìn)氣量穩(wěn)定準(zhǔn)確 7.控制系統(tǒng):設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)先進(jìn),有手動控制和自動控制兩種方式 8.弧離子源:設(shè)計(jì)獨(dú)特,高離化率 等離子體鈦金鍍膜技術(shù)簡介 一、等離子體鈦金鍍膜原理: 多弧離子鍍膜是把真空弧光放電用于蒸發(fā)源的鍍膜技術(shù)。即真空環(huán)境下引火器引燃弧光放電源(陰極)與真空室(陽極)之間形成自持弧光放電,使從陰極弧光輝點(diǎn)射出的陰極物質(zhì)離子形成空間電荷層,產(chǎn)生強(qiáng)電場,使陰極表面上功函數(shù)小的開始發(fā)射電子;電流局部集中產(chǎn)生的焦耳熱使陰極材料局部地爆發(fā)性地等離子化,發(fā)射電子和離子,同時也放出熔融的陰極材料,在工件偏壓的作用下與反應(yīng)器件化合而沉積在工件表面上,從而在工件上形成被鍍的膜。 二、等離子體鍍膜的特點(diǎn): 1、直接從陰極產(chǎn)生等離子體; 2、入射粒子能量高,膜的致密度高,強(qiáng)度和耐久性好; 3、離子率高,一般可達(dá)60~80%,因此最大優(yōu)點(diǎn)是蒸鍍速率快。 三、等離子體鍍膜應(yīng)用: 1、在金屬表面鍍鈦金膜可大大提高其硬度和防腐耐磨性,提高使用壽命。在表殼、表帶、眼睛架、健身球、首飾、燈具、餐具、工藝美術(shù)品上鍍制氮化鈦膜,其效果可與黃金媲美,具有廣泛的實(shí)用價值。 2、工具、刀具、模具上鍍制氮化鈦膜可使其使用壽命增加5倍左右,最高可達(dá)8~10倍。
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