詳細描述 儀器特點 ◆　超精密全自動測量，四軸ＣＮＣ控制； ◆　精密花崗巖機臺，精度高、穩定性好； ◆　三軸ＴＨＫ精密直線導軌、精密傳動系統； ◆　Ｒｅｎｉｓｈａｗ開放式光柵尺，精度高、穩定性好； ◆　ＴＺＴＥＫ自動變倍光學鏡頭，可實現自動變倍測量； ◆　程控式６環８區環形表面光源，ＬＥＤ輪廓光源，同軸光源； ◆　自動對焦測高，可加裝接觸式測頭； ◆　提供多種行程規格配置，如２２２、３２２、４３２、５４２等。 　 技術參數 型號 ＶＭＵ２２２ ＶＭＵ３２２ ＶＭＵ４３２ ＶＭＵ５４２ 行程（ｍｍ） ２００×２００×２００ ３００×２００×２００ ４００×３００×２００ ５００×４００×２００ 外部尺寸（ｍｍ） １０４０×７４０×１６２０ １０４０×７４０×１６２０ １２４０×８００×１６２０ １４４０×１０００×１６８０ 重量（ｋｇ） ２４０ ２５０ ３１０ ４００ 承重（ｋｇ） ２５ ２５ ２５ ２５ 測量精度 ＸＹ軸＊ Ｅ２＝（１．５＋Ｌ／３００）μｍ Ｅ２＝（１．９＋Ｌ／３００）μｍ Ｚ軸＊＊ Ｅ１＝（５．０＋Ｌ／２００）μｍ 速度 ＸＹ軸 ２００ｍｍ／Ｓ Ｚ軸 １００ｍｍ／Ｓ 光柵尺 ０．１μｍ　Ｒｅｎｉｓｈａｗ光柵尺 導軌 ＴＨＫ 圖像傳感器 高清晰彩色專用工業攝像機 光源 輪廓光 ＬＥＤ冷光源，２５６級亮度可調 表面光 ６環８區ＬＥＤ冷光源，各段獨立操控，２５６級亮度可調 同軸光 ＬＥＤ冷光源，２５６級亮度可調 光學鏡頭 　１２．５：１連續變倍 放大倍率＊＊＊ 光學放大倍率：０．６～７．５×；影像放大倍率：１８～２３０× 軟件 Ｖｉｓｐｅｃ測量軟件（ＶＭＵ版） 運動控制 自主專利的ＣＮＣ直流伺服系統 保修期 １年 工作環境 溫度２０℃±２℃，溫度變化