濺射薄膜壓力傳感器
PTG200濺射薄膜壓力傳感器其利用離子束濺射薄膜技術結合先進的微電子工藝技術制造而成的不銹鋼彈性膜片。離子束濺射在電阻合金材料上,在膜片上制作了組成惠斯登電橋的合金薄膜應變電阻,膜片變形使電阻的幾何尺寸和阻值發生改變,電橋輸出相應電信號。薄膜應變電阻與彈性體“融”為一體,組成全金屬型敏感元件,無任何粘貼劑和緊固件, 可長期在-40~125℃工作溫度下穩定工作。
應用于航空、航天、交通、水利、電力、工程機械、汽車制造、船舶制造、石油化工、冶金制造、醫療設備、食品加工等多種自控和測量行業。
主要技術參數:
被測介質: 氣體,液體及蒸氣
壓力類型: 表壓、絕壓
量程: 0 - 0.6~120 Mpa間任意可選
輸出 :1.2~1.8 mv/V
綜合精度: ±0.1%FS、±0.25%FS、±0.5%FS
非線性: 0.06~0.1%FS
遲滯: 0.02~0.05%FS
重復性: 0.03~0.06%FS
零點溫漂: ±0.01%FS/℃
靈敏度溫漂: ±0.02%FS/℃
供電: 5~15V DC
輸出阻抗: 1.5~3KΩ
絕緣電阻: ≥1000 MΩ/100VDC
工作溫度: -40~+85\125\150℃可選
過載能力: 150%FS
電氣連接: 高溫引出線
壓力連接: M10×1雙"O"圈密封或用戶指定
接液材料 膜片:17-4PH過程連接件1Cr18Ni9Ti
相對濕度: 0~95% RH
密封等級 :IP65