GB/T 14599-2008 純氧、高純氧和超純氧檢測
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項目名稱 超純氨
氨(NH3)純度(體積分數)/10-2 ≥ 99.99999
氫(H2)含量(體積分數)/10-6 < 0.01
氧+氬(O2+Ar)含量(體積分數)/10-6 < 0.01
氮(N2)含量(體積分數)/10-6 < 0.01
一氧化碳(CO)含量(體積分數)/10-6 < 0.01
二氧化碳(CO2)含量(體積分數)/10-6 < 0.01
烴(C1~C3)含量(體積分數)/10-6 < 0.01
水分(H2O)含量(體積分數)/10-6 < 0.05
總雜質含量(體積分數)/10-6 ≤ 0.1
滿足標準:
GB/T 8979-2008《純氮,高純氮,超純氮》
GB/T 14599-2008《純氧、高純氧和超純氧》
GB/T 14604-2009 《電子工業用氣體 氧》
GB/T 4844-2011《純氦、高純氦和超純氦》
GB/T 3634.2-2011《純氫、高純氫、超純氫》
GB/T 4842-2006《氬》
GB/T 16945-2009《電子工業用氣體 氬》
GB/T 14601-2009《電子級工業氣體氨》
Q/320507 LAS03-2011《7N超純氨》
HG/ 3633-1999《純甲烷》
GB/T 8984-2008《氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定 氣相色譜法》
GB/T 14601-2009《電子工業用氣體氨》
GB/T 23938-2009《高純二氧化碳》
電子級工業氣體氨(GB/T 14601-2009)
7N超純氨(Q/320507 LAS03-2011)
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