「無塵室」是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 無塵室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為「無塵室」。 潔凈度:以單位體積空氣中某粒徑粒子的數(shù)量多少來區(qū)別的潔凈程度. 千級無塵室,主要過濾大于或等于0.5UM塵埃粒子,其送風量按換氣數(shù)一般在50次以上. 設(shè)計建造潔凈廠房一般按照國家規(guī)范要求, 無塵室建筑方式可分為土建結(jié)構(gòu)和裝配式兩種,其中普遍采用裝配式。 裝配式無塵室系統(tǒng)主要由靜壓箱,高效過濾器,鋁合金擴散板,標準法蘭接口等組成,造型美觀,結(jié)構(gòu)簡單,使用可靠。 本送風口為下裝式,具有在潔凈室內(nèi)安裝和更換過濾器方便的優(yōu)點,高效過濾器采用機械壓緊或液槽密封裝置,確保風口安裝無泄露,密封可靠,凈化效果好.動力及照明系統(tǒng);工作環(huán)境參數(shù)的監(jiān)測報警消防和通訊系統(tǒng);人流和物流系統(tǒng);工藝管路系統(tǒng);維護結(jié)構(gòu)及靜電地面處理等各方面所要求的實施內(nèi)容組成,形成空調(diào)凈化系統(tǒng)工程所包含的整個設(shè)備和器材的配套和建筑安裝內(nèi)容。千級無塵室的安裝與使用方面有以下特點: 1>裝配式潔凈廠房的全部維修構(gòu)件在工廠內(nèi)按統(tǒng)一模數(shù)及系列加工完成,適于批量生產(chǎn),質(zhì)量穩(wěn)定,供貨迅速。 2>機動靈活,即適合在新建廠房配套安裝,也適宜老廠房的凈化技術(shù)改造。維修結(jié)構(gòu)也可隨工藝要求任意組合,拆卸方便。 3>需要輔助建筑面積較小,對土建筑裝修要求低。 4>氣流組織形式靈活,合理,可滿足各種工作環(huán)境,不同潔凈等級的需要。
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