不銹鋼真空泵的主要參數有：
　　1、極限真空：將真空泵與撿測容器相連，放入待測的氣態后，開展長時日接連抽氣，當容器內的氣態壓力不再降低而維系某必定值時，此壓力名為泵的極限真空。該值越小則說明越近乎理論真空。
　　2、抽氣速率：在不銹鋼真空泵的吸氣口處，單位時日內流過的氣態體積。傳統工業用不銹鋼真空泵體積普遍非常非常大，不銹鋼真空泵的工作需求需要特別的真空泵油和潤滑汽油。
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