此真空泵由標準電機驅動，內置止回閥防止停機時的返流結構緊湊，操作維護簡便，可根據不同應用設備專用附件風冷，油循環潤滑，內置油霧過濾器，排氣潔凈低振動，噪聲小，適合廣泛的工業用途，應用在食品包裝,醫療設備,真空干燥,真空吸引,紙張加工以及含揮發性或腐蝕性等氣體之化學制程.特點: 1. 設計精密.結構堅固.重量輕.易於安裝及維護.2. 空氣冷卻(氣冷式).3. 值結式驅動,可避免轉動皮帶及齒輪之松弛或損耗.4. 含高效率油霧過濾器,不須將氣體排出室外.5. 進氣口有逆止閥,當泵浦停止時,此逆止閥可隔離泵浦于系統,避免真空油逆流.6. 低震動,不需用基礎螺拴固定泵浦.7. 運轉聲音小.8. 具氣體壓載閥,可適用於蒸氣之制程.9. 即在真空度0.5mbar到40mbar之間進入泵浦入口之水蒸氣,會從泵浦出氣口完全排出,而不會在泵浦內發生凝結現象.
    德國普旭真空泵：單級旋片式真空泵RA0020、RA0040、RA0063、RA0100、RA0160、RA0250、RA0302、RA0630
    R5-0004B、R5-0008B、R5-0010C、R5-0016C、R5-0021C、R5-0025F、R5-0040F、R5-0063F、R5-0100F、R5-0160D、R5-0202D、R5-0250D、R5-0302D、R5-0400B、R5-0502B、R5-0630B
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