基礎(chǔ)技術(shù)參數(shù): 型 號(hào): FUNCTION 564 n 行 程: X軸 500 mm Y軸 600 mm Z軸 400 mm ˉ 結(jié)構(gòu)型式:活動(dòng)橋式 ˉ 傳動(dòng)方式:直流伺服系統(tǒng) + 預(yù)載荷高精度空氣軸承 ˉ 長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng):RENISHAW開放式光柵尺,分辨率為0.5μm ˉ 機(jī) 臺(tái):高精度(00級(jí))花崗巖平臺(tái) ˉ 使用環(huán)境:溫度(20±2)℃,濕度55%-65% ,溫度梯度1℃/m,溫度變化 1℃/h ˉ 空氣壓力:0.4 MPa - 0.5 Mpa ˉ 空氣流量:120 L/min – 140 L/min ˉ 整機(jī)尺寸(LWH):1.2m X 1.4 m X 2.3 m ˉ 機(jī)臺(tái)承重:500 kg ,整機(jī)重量:850 Kg 空間測(cè)量精度:(2.80+L/300)μm
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