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一．能譜儀基本介紹 
X 射線熒光分析技術(shù)（ XRF ，又稱 X 射線熒光光譜儀）作為一種快速分析手段， 為我國的相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)提供了一種可行的、低成本的、并且是及時的，檢測、篩選和控制有害元素含量的有效途徑；相對于其他分析方法（例如：發(fā)射光譜、吸收光譜、分光光度計(jì)、色譜質(zhì)譜等）， XRF 具有無需對樣品進(jìn)行特別的化學(xué)處理、快速、方便、測量成本低等明顯優(yōu)勢，特別適合用于各類相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)作為過程控制和檢測使用。 
X 射線熒光分析技術(shù)可以分為兩大類型：能量色散 X 射線熒光分析（ EDXRF ，以下我們簡稱能量色散）和波長色散 X 射線熒光分析(WDXRF，以下我們簡稱波長色散）；而能量色散型又根據(jù)探測器的類型分為（ Si-PIN ）型和 SDD 型。在不同的應(yīng)用條件下，這幾種類型的技術(shù)各有其突出的特點(diǎn)；以下將針對歐盟 ROHS & WEEE 指令的具體應(yīng)用情況，對能量色散和波長色散進(jìn)行比較和說明： 
儀器 類型 波長色散 能量色散 
性能 指標(biāo) （ Si-PIN ）型 （SDD ）型 
測量精度 20--50ppm   200--300ppm    100--200ppm 
測量時間 
1--2分鐘 
4--6 分鐘 
3--5 分鐘 
被測樣品要求 
規(guī)則形狀 需要制樣 
可以不規(guī)則形狀 
可以不規(guī)則形狀 
被測元素類型 
輕元素 
重元素 
重元素 
最佳應(yīng)用范圍 
原料，半成品 
成品，電子元器件 
原料、半成品，成品，電子元器件 
能量分辨率 
高，約 15eV 
較低，約 160eV 
較低，約 160eV 
熒光強(qiáng)度 
高 
低 
較高 
技術(shù)復(fù)雜程度 
復(fù)雜 
簡單 
較復(fù)雜 
使用壽命 
＞ 10 年 
＞ 5 年 
儀器造價 
高 
較低 
高 
1 、測量精度： 盡管目前各家能量色散儀器（均為 Si-PIN 類型）生產(chǎn)商和銷售商都給出了很高的技術(shù)指標(biāo)，但在實(shí)際應(yīng)用中（特別在被測樣品不進(jìn)行處理的情況下），真正可以期待的準(zhǔn)確度都在 200~300ppm 之間（測量塑料中有害元素時，準(zhǔn)確度會好一些；對不規(guī)則樣品，則精度會更差）；同時，對于同類型的儀器，進(jìn)口儀器的指標(biāo)和國產(chǎn)儀器之間并沒有本質(zhì)差別（基本配置），但進(jìn)口儀器的價格卻昂貴很多。波長色散測量準(zhǔn)確度比能量色散類型要高一個數(shù)量級，基本在 20~50ppm 左右。 
  2 、測量時間： 由于波長色散配備較大功率的 X 光管，熒光強(qiáng)度高；因此，波長色散儀器占用較短的測量時間，便能達(dá)到較高的測量精度。 
  3 、被測量樣品的要求： 由于技術(shù)特點(diǎn)的差異，波長色散需要對被測量樣品進(jìn)行簡單的處理；對固體樣品的一般處理方法是將被測量樣品表面打磨光滑，對粉末和其他樣品可以采用磨細(xì)后進(jìn)行粉末壓片法處理，相應(yīng)的設(shè)備市場上很容易找到。能量色散型儀器最大的優(yōu)勢在于：可以對樣品不作特別復(fù)雜的處理而直接進(jìn)行測量，對樣品也沒有任何損壞，適合直接用于生產(chǎn)的過程控制中；但需要強(qiáng)調(diào)指出的是：從熒光理論上講，被測量樣品的預(yù)先處理是必須的，對于能量色散儀器來說，我們可以采取一些技術(shù)手段進(jìn)行校正來滿足實(shí)際生產(chǎn)控制的需要，但即使采用了技術(shù)校正的手段，對不規(guī)則樣品的直接測量也是以犧牲測量準(zhǔn)確度作為代價的。 
  4 、最佳應(yīng)用范圍： 由于波長色散和能量色散類型各自的技術(shù)特點(diǎn)，兩種類型儀器所側(cè)重的應(yīng)用方案也不盡相同；波長色散具有較高的測量精度，但同時需要對被測量樣品進(jìn)行簡單處理，更適用于進(jìn)廠原材料、半成品、成品的精確檢測和質(zhì)量控制；能量色散雖然測量精度稍差，但具有快速、直接測量各種形狀樣品的優(yōu)點(diǎn)，因此可直接在生產(chǎn)線上用于各種部件、電子元器件的檢測。 
  5 、能量分辨率： 能量分辨率是儀器的主要指標(biāo)，分辨率數(shù)值越小，分辨率越高，儀器性能越好。 
  6 、熒光強(qiáng)度： 對于儀器來說，各元素含量與該元素的熒光強(qiáng)度成正比關(guān)系；熒光強(qiáng)度越高，則統(tǒng)計(jì)誤差越小，測量的準(zhǔn)確度越高，儀器性能越好。 
7 、