l 精確度:化學(xué)銅:標(biāo)準(zhǔn)差0.2 %,電鍍銅:標(biāo)準(zhǔn)差0.3 %
l 分辨率:0.1μm≥10μm,0.01μm< 10μm,0.001μm< 1μm,0.01mils≥1 mil,0.001mils< 1mil
l 厚度測(cè)量范圍:化學(xué)銅:0.25μm–12.7μm(10μin–500μin)
電鍍銅:2.5μm–254μm(0.1mil–10mil)
l 線(xiàn)性銅線(xiàn)寬范圍:203μm–7620μm(8mil–300mil
l 工作特點(diǎn):應(yīng)用先進(jìn)的微電阻測(cè)試技術(shù)。系繩式探頭由四支探針組成,AB為正極CD為負(fù)極;測(cè)量時(shí),電流由正極到負(fù)極會(huì)有微小的電阻,通過(guò)電阻值和厚度值的函數(shù)關(guān)系準(zhǔn)確可靠得出表面銅厚,不受絕緣板層和線(xiàn)路板背面銅層影響。耗損的SRP-4探針可自行更換,為牛津儀器專(zhuān)利產(chǎn)品。探頭的照明功能和保護(hù)罩方便測(cè)量時(shí)準(zhǔn)確定位。