面銅探針組件：SRP-4探針，臺式測厚儀CMI760/CMI563專用，也就是SRP-4探頭前端的水晶頭。

英國Oxford牛津SRP-4面銅探頭（CMI700/CMI600/CMI563/專用）

英國Oxford牛津SRP-4面銅探頭（CMI700/CMI600/CMI563/專用）

  SRP-4面銅探頭測試技術參數

專用于Oxford牛津CMI760(CMI700)座臺式孔面銅測厚儀

  l 準確度：5%，參考標準片

l 精確度：化學銅：標準差0.2 %，電鍍銅：標準差0.3 %

l 分辨率：0.1μm≥10μm，0.01μm< 10μm，0.001μm< 1μm，0.01mils≥1 mil，0.001mils< 1mil

l 厚度測量范圍：化學銅：0.25μm–12.7μm（10μin–500μin）

電鍍銅：2.5μm–254μm（0.1mil–10mil）

l 線性銅線寬范圍：203μm–7620μm（8mil–300mil