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多晶硅定向凝固爐
用途:太陽能級硅錠制造,也可以用于其他半導體材料提純。
特點:控制精度高,結晶速度自由調節,采用感應熔煉法,增加溶液攪拌,熔煉速度快,定向凝固保溫采用特制加熱電源,具有三相電流平衡,維護費用低,采用恒溫度控制儀,可設置148段加熱工藝曲線,爐室采用三室真空爐體,真空度高,抽氣速度快。
技術參數
熔煉容量:10-300KG
電源功率:50-400KW
升溫速率:40℃
爐溫均勻性: ±5℃
極限真空度 :6.67×10-2Pa
壓升率:0.01PaL/S
額定充氣壓力:0.05Mpa
鑄錠方式:下降定向凝固
伺服控制范圍: 0.01mm-6mm/Min
定向凝固速率:0.03mm-0.5mm/Min
坩堝上升速度 :80-100 mm/Min
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