化學氣相沉積爐應用領域
化學氣相沉積爐(沉積炭)可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復合材料的化學氣相沉積,如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理。
化學氣相沉積爐產品規格
產品型號/規格W×H×L(mm)
600*600*1000
800*800*1200
1000*1000*1500
1200*1200*2500
1500*1500*3000
2500*2000*3600
裝載重量(KG)
350
800
1500
2500
5000
10000
最高溫度(℃)
1500
1500
1500
1500
1500
1500
溫度均勻性(℃)
±7.5
±7.5
±7.5
±10
±10
±15
加熱功率(kw)
250
360
480
600
900
1200
極限真空度(Pa)
20
20
20
20
20
20
壓升率(Pa/h)
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67