Awave EUV系列主要特點:1. 聲光調Q2. 納秒脈沖3. TEM00模式Awave EUV系列激光器包括一個激光頭及激光控制器,由一個2.5米的套管連接,能夠滿足客戶高強度7×24小時工作生產要求。光纖耦合二極管泵浦位于激光控制器內,方便現場更換。激光頭在潔凈室中密封封裝,確保長期有效穩定的使用。Awave EUV系列激光器脈沖頻率1~100kHz,平均功率10mW~100mW,脈沖能量超過0.1mJ。
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