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真空泵油霧分離器又名排氣過濾器，是油式真空泵內置的一種油氣分離裝置，可以在很好的將被抽氣體與真空泵油分離，以致真空泵排出無污染的氣體，達到環保的功效，在有些真空泵它可以與真空泵配合，到達消除噪音的功能，因其結構簡單，造價合理，所以受到很多真空泵制造企業的熱捧。
2、真空泵油霧分離器的結構      博士普旭真空泵R5油霧分離器
真空泵油霧分離器通常有濾紙、鐵網、過濾面與兩端膠蓋組成。其核心組件便是里面的濾紙，比較的好的濾紙屬德國產的濾紙，具有很強的分離能力。、真空泵油霧分離器的工作原理
真空泵油霧分離器在推動力的作用下，位于一側的油氣混合物中的通過真空泵油霧分離器的濾紙及棉質。油則被截留，從而實現氣體與真空油的分離操作過程。被過濾掉的真空泵油隨著回油管進行循環利用，排出的則是無油的廢氣，而達到無污染，潔凈的效果。 
4、真空泵油霧分離器的日常維護博士普旭真空泵R5油霧分離器
a. 真空泵運行時的檢查：使用真空泵油霧分離器壓力表檢測是否堵塞，當壓力表讀數位于紅色區域，說明油霧分離器已堵塞，必須更換。如果無油霧分離器壓力表，則油霧分離器的阻力由驅動電機電流的變化來測定，驅動電機消耗過的電流或真空泵的流量下降，說明油霧分離器已堵塞，必須更換。
b. 如果真空泵油霧分離器壓力表指示的壓力比通常低，或驅動電機消耗的電流比通常少，原因是有一個油霧分離器損壞，需要更換油霧分離器。 
c. 如果排放的氣體中含有油，原因是油霧分離器堵塞或損壞，須更換。真空泵 油霧分離器不能徹底清洗干凈，必須更換堵塞的油霧分離器.更換真空泵油霧分離器前請先關閉真空泵并切斷電源，確保真空泵已通大氣壓，從油箱上打開排氣口蓋板，借助專用內六用扳手拆下排

氣過濾器，將裝有密封圈的新的油霧分離器開口端安裝在油箱內正確位置