CCQ系列氣動(dòng)超高真空插板閥
CCQ系列氣動(dòng)超高真空插板閥是以壓縮空氣為動(dòng)力，通過電磁換向閥改變氣路方向，控制氣缸活塞，驅(qū)動(dòng)閥板作上下運(yùn)動(dòng)，使用閥門開啟或關(guān)閉，用于接通或切斷真空管路中的氣流。
適用的工作介質(zhì)為純凈空氣和非腐蝕性氣體。
帶反饋信號(hào)裝置。
氣動(dòng)超高真空插板閥主要零件材料：
閥體、閥板：不銹鋼。
密封件：氟橡膠、波紋管(軸封)、丁腈橡膠。
氣動(dòng)超高真空插板閥主要技術(shù)性能：
適用范圍(Pa)  105～1.3×10-7Pa
 閥門漏率(Pa.L/S)  ≤1.3×10-7Pa.L/S.(DN≤200)
 ≤6.7×10-7Pa.L/S.(DN≥250)
 適用溫度（℃）  -30～+150℃
 閥門開啟時(shí)閥板兩側(cè)的壓差(Pa)  ≤2.7×103Pa.
 氣源壓力 （MPa）  0.4～0.6MPa
電源電壓V/Hz 標(biāo)準(zhǔn)出廠：AC220V/50Hz
特殊指定：AC110V；DC24V；DC12V等
信號(hào)反饋 標(biāo)準(zhǔn)出廠：不帶反饋信號(hào)
特殊指定：磁性開關(guān)DC/AC5～240V
氣動(dòng)超高真空插板閥外形及連接尺寸
 
型號(hào) DN A H D Do D1 D2 D3 L L1 G E n-d 法蘭標(biāo)準(zhǔn)
CCQ-50 50 60 92 89 72.4 61.6 55.6   515 153 220 65 8-M8 GB6071
CCQ-63 63 65 105 114 92.1 82.6 76.6   566 180 220 80 8-M8
CCQ-80 80 65 130 130 110 99 93   603 200 220 80 16-M8
CCQ-100 100 70 152 152 130.2 120.7 114.7   653 267 220 95 16-M8
CCQ-150 150 70 202 202 181 171.5 165.5   771 350 270 95 20-M8
CCQ-200 200 80 251 253 231.8 222.3 216.6   889 424 270 115 24-M8
CCQ-250 250 85 300 314 288 308 275 271 1127 574 350 140 24-M10 JB5278
CCQ-300 300 85 352 365 338 353 323 318 1197 613 420 140 32-M10  
CCQ-320 320 85 372 385 357 379 344 340 1197 613 440 140 36-M10 JB5278
CCQ-400 400 110 456 497 454 480 440 436 1666 810 536 180 36-M12
CCQ-500 500 135 595 590 555 580 540 536 1835 870 640 220 40-M12
CCQ-630 630 135 690 700 658 680 639 635 1930 960 780 280 40-M16
CCQ-800 800 150 880 890 855 880 835 831 2200 1100 950 350 60-M16