等離子光氧一體機有足夠的能量來產生自由基，引發一系列復雜的物理、化學反應。由低溫等離子體引起的氣體有機物化學反應是在氣相中進行的電離、離解、激發、原子分子間的相互結合及加成反應。這個能量足以使大多數氣態有機物中的化學鏈發生斷裂，從而使其降解。由于大氣受污染而酸化，導致了生態環境的破壞，重大災難頻繁的發生，給人類造成了巨大損失。因此選擇一種經濟、可行性強的處理方式勢在必行。降解揮發性有機污染物傳統的處理方式如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，而光催化降解VCOs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VCOs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優勢。