SET3/1064/532/355，SFT3：激光調阻機/激光微調機/激光修阻機/激光刻阻機 

激光調阻機的成功研制對推動我國微電子行業的產業升級起到重要作用。激光調阻機是利用激光技術對厚、薄膜電路進行修調，以得到高精度的電阻值或精準的輸出信號。公司生產的激光調阻機全部擁有自主知識產權，采用高質量的激光源和精密的測量系統，空氣懸浮平面運動機構，各項性能指標達到先進水平，是取代進口產品之首選。

激光調阻機技術參數： 

激光器系統： 

激光類型：半導體端面泵浦激光器 / 光纖激光器 

激光波長：1064/532/355nm 

激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355) 

激光頻率：200Hz-50KHz 

典型光斑尺寸：30μm 

實際切口取決于材料、光學器件和波長；可根據需要選配532綠激光或355紫外激光最小光斑達12μm 

泵浦源使用壽命：20,000—100，000小時 

冷卻方式：風冷 

對焦方式：計算機程序控制 

激光束定位系統： 

激光束運動范圍：75mmX75mm（可選配其他規格） 

點到點運動時間：5ms（典型） 

最大速度：7000mm/s 

重復定位精度：2.5μm 

激光束最小步進：0.76μm 

圖像監視系統： 

監視方式：激光同軸監視 

最大放大倍數：>100倍 

圖像監視顯示屏：19寸液晶 


激光調阻機應用和市場：
主要應用于厚、薄膜電路的精密調節。廣泛應用于厚膜混合集成電路，電子元器件，汽車電器，傳感器，軍工科研，片式電阻行業等。
公司名稱：武漢三工光電設備制造有限公司

公司地址：湖北武漢東湖新技術開發區武漢大學科技園武大園四路

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