分辨率為0.1/0.5μm時，精度可高達(1.3+0.6L/600)μm；確保垂直度（前部）達6μm，直線度達4μm；全/半空氣浮動系統可調節氣墊；GO/NO-GO LED顯示.帶有基本統計功能，另外，通過RS-232C數據輸出與帶有SPC軟件的電腦相連， 
可實現外部測量數據評估；大容量數據存儲，可儲存50個測量程序和60000個測量結果 。
測量范圍：0-600mm或972mm(使用第二測頭夾持桿)，分辨率：0.0001/0.001mm可切換，測量精度：(1.1+0.6L/600)um L:測量長度mm， 平面：0.5um孔2010-3-191um，6um(垂直度），4um（直線度），驅動方式：手動/電動（7級調速），測量壓力：1N，平衡方式：配重平衡，標準附件：?5mm球形測頭與測頭直徑校驗塊，氣源：內置空氣壓縮機。
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