Dimension 3100 SPM使用自動(dòng)化的原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡技術(shù),可用來(lái)測(cè)量直徑可達(dá)200毫米的半導(dǎo)體硅片、刻蝕掩膜、磁介質(zhì)、CD/DVD、生物材料、光學(xué)材料和其它樣品的表面特性。它的激光點(diǎn)定位系統(tǒng)和無(wú)需工具改變掃描技術(shù)的能力保證了儀器的適用性、易操作性和高的數(shù)據(jù)處理能力。
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