MSCT
氮化硅探針
用于接觸式、輕敲式或力的測量,高靈敏度,彈性系數(shù)極低;
每個基片有6個懸臂,彈性系數(shù)為0.01 - 0.50 N/m,有銳化處理,
包裝數(shù)量:10根/盒
針尖參數(shù)
幾何:各向異性
針尖高度 (h): 2.5 - 8.0μm
正面角(FA): 15 ± 2.5°
背面角(BA): 25 ± 2.5°
側(cè)面角 (SA): 17.5 ± 2.5°
針尖曲率半徑(Nom): 10nm
針尖曲率半徑(Max): 40nm
針尖縮進(jìn) (TSB)(Nom): 4μm
針尖縮進(jìn)范圍 (TSB)(RNG): 0 - 7μm
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