Surftest
(表面粗糙度測量儀)
SJ-500, SV-2100

178

系列 
— 
帶有專用控制 /

顯示裝置







技術參數 :
SJ-500

X

軸 (驅動部)



 測量范圍 :             
50mm



 分辨率 :                
0.05μm



 檢測方法 :             

線性編碼器



 驅動速度 :             
0 -
20mm/s



 測量速度 :             
0.02
- 5mm/s



 移動方向 :             

向后



 直線度 :                
0.2μm
/ 50mm



 定位 :                   
±1.5°
(傾角、有
DAT

功能)


30mm
(向上／向下)



檢測器


 范圍／分辨率 :       
800μm
/ 0.01μm, 80μm / 0.001μm,

8μm
/ 0.0001μm



 檢測方法 :             

無軌／有軌測量



 測力 :                   
4mN

或 0.75mN
(低測力型)



 測針針尖 :             

金剛石、90o
/ 5μmR


(60o
/ 2μmR: 
低測力型)



 導頭曲率半徑 :       
40mm



 檢測方法 :             

差動電感式



控制器


 顯示 :   &nb