硅烷標識
中文名：單硅烷；硅甲烷；甲硅烷；四氫化硅
硅烷英文名：Silane;Silicon tetrahydride 
分子式：SiH4
硅烷CAS號：7803-62-5 
純  度：99.999~99.9999%
                      硅烷理化性質
分子量：32.118
熔點(101.325kPa)：-185.0℃
沸點(101.325kPa)：-111.5℃
液體密度(-185℃)：711kg/m3
氣體密度(0℃，100kPa)： 1.42kg/m3
相對密度(氣體，空氣=1，20℃，101.325kPa)：1.114
臨界溫度：-3.4℃
臨界壓力：4843kPa
臨界密度：242kg/m3
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