FFU/層流罩 FFU具有特點： 第一：靈活性。因為FFU是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會帶來二次投資。 第二：可再利用性。從理論上講，一時不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。 第三：負(fù)壓通風(fēng)。這是FFU的獨(dú)特特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對于潔凈廠房負(fù)壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且安全。 第四：縮短建設(shè)周期。使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝，因為風(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。 第五：減少運(yùn)行成本。雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但它在后期運(yùn)行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點。用在循環(huán)減少40%的運(yùn)行成本。