無塵室 無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。無塵室要求不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力,所以穩(wěn)定性尤為重要。因此,各凈化工程企業(yè),也根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素,將無塵室分為若干實際執(zhí)行等級,上表所列為常用的國際標準。此外,如安徽人和環(huán)境科技有限公司(人和凈化)等一些知名凈化工程公司,在上述通行標準之外,還設有自身執(zhí)行的高于國際化通行標準的凈化指標,凈化能力和環(huán)境適應力遠超國際品牌。 概述 無塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 無塵室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例, 無塵室無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。 如表所示,每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業(yè)內俗稱的1K級別。 控管項目 1. 能除去空氣中飄游之微 無塵室塵粒子。 ⒉ 能防止微塵粒子之產生。 ⒊ 溫度和濕度之控制。 ⒋ 壓力之調節(jié)。 ⒌ 有害氣體之排除。 ⒍ 結構物與隔間之氣密性。 ⒎ 靜電之防制。 ⒏ 電磁干擾預防。 ⒐ 安全因素之考慮。 ⒑ 節(jié)能之考量。 ⒒照度的的調節(jié) ⒓浮游菌及沉降菌的控制 溫州屹誠凈化科技有限公司 地址:浙江省溫州市甌海區(qū)金蟾大道252號三浹大廈5樓501室 電話:0577-86186296 傳真:0577-86186295 聯(lián)系人:黃先生 13587672372 公司網址:www.wzyicheng.com