江蘇實為半導體科技有限公司-佛山MOCVD加熱器設備生產廠家1234a3211
是國內前列的MOCVD等半導體設備的核心部件和耗材供應商。由唐山實為半導體和海外專家陳景升共同投資組建,公司注冊資金2000萬,總部在邳州,并在蘇州設有辦事處。我國的半導體制造業在近年有了長足發展,但所使用的設備還主要來自國外,如MOCVD主要從美國和德國進口。1234a3211
主要特性如下:1234a3211
1、已通過量產驗證,在短時間內設備即可到較理想的工藝水平1234a3211
2、產品經過多道化學清洗,并使用超聲波處理,氮氣加熱烘干后在氮氣柜中保存1234a3211
3、隔熱板材料使用高純鉬,不含任何PBN,較之前壽命提升30%-50%,維護保養更加方便1234a3211
4、線圈加熱重新設計,B區在原來的基礎上加大,使加熱器溫度分布更大更均勻,效率更高1234a3211
5、支撐及固定點重新設計,整個加熱器不易變形,更加持久耐用1234a3211
6、維護更加方便快捷,可以有效的降低成本1234a3211
目前我司已量產MOCVD之關鍵組件如加熱器、整流罩、過濾器等產品,并正在開發和推廣刻蝕用托盤和靜電吸盤、離子注入機的離子源等產品。我司的目標是成為中國領先的半導體設備備件和耗材供應商,不但為客戶提供全面而可靠的產品,還要通過客制化服務,為客戶提供更為優化的核心部件以提升機器的整體性能,為客戶提供高附加值的服務,實現雙贏的局面。-佛山MOCVD加熱器設備生產廠家1234a3211石墨基座是由高純石墨制成,并包裹SIC層。加熱多采用高頻感應加熱,少數是輻射加熱。由熱電偶和溫度控制器來控制溫度,一般溫度控制精度可達到0.2℃或更低。1234a3211
因為MOCVD生長使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物質,并且要生長多組分、大面積、薄層和超薄層異質材料。因此在MOCVD系統的設計思想上,通常要考慮系統密封性,流量、溫度控制要好,組分變換要迅速,系統要緊湊等。不同廠家和研究者所產生或組裝的MOCVD設備是不同的。1234a3211
【云端系統代發】-佛山MOCVD加熱器設備生產廠家