江蘇實(shí)為半導(dǎo)體科技有限公司-肇慶MOCVD生產(chǎn)配套設(shè)備廠家1234a3211
是國內(nèi)前列的MOCVD等半導(dǎo)體設(shè)備的核心部件和耗材供應(yīng)商。由唐山實(shí)為半導(dǎo)體和海外專家陳景升共同投資組建,公司注冊資金2000萬,總部在邳州,并在蘇州設(shè)有辦事處。我國的半導(dǎo)體制造業(yè)在近年有了長足發(fā)展,但所使用的設(shè)備還主要來自國外,如MOCVD主要從美國和德國進(jìn)口。1234a3211
主要特性如下:1234a3211
1、已通過量產(chǎn)驗(yàn)證,在短時(shí)間內(nèi)設(shè)備即可到較理想的工藝水平1234a3211
2、產(chǎn)品經(jīng)過多道化學(xué)清洗,并使用超聲波處理,氮?dú)饧訜岷娓珊笤诘獨(dú)夤裰斜4?234a3211
3、隔熱板材料使用高純鉬,不含任何PBN,較之前壽命提升30%-50%,維護(hù)保養(yǎng)更加方便1234a3211
4、線圈加熱重新設(shè)計(jì),B區(qū)在原來的基礎(chǔ)上加大,使加熱器溫度分布更大更均勻,效率更高1234a3211
5、支撐及固定點(diǎn)重新設(shè)計(jì),整個(gè)加熱器不易變形,更加持久耐用1234a3211
6、維護(hù)更加方便快捷,可以有效的降低成本1234a3211
目前我司已量產(chǎn)MOCVD之關(guān)鍵組件如加熱器、整流罩、過濾器等產(chǎn)品,并正在開發(fā)和推廣刻蝕用托盤和靜電吸盤、離子注入機(jī)的離子源等產(chǎn)品。我司的目標(biāo)是成為中國領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備備件和耗材供應(yīng)商,不但為客戶提供全面而可靠的產(chǎn)品,還要通過客制化服務(wù),為客戶提供更為優(yōu)化的核心部件以提升機(jī)器的整體性能,為客戶提供高附加值的服務(wù),實(shí)現(xiàn)雙贏的局面。-肇慶MOCVD生產(chǎn)配套設(shè)備廠家1234a3211為了保證金屬有機(jī)化合物有恒定的蒸汽壓,源瓶置入電子恒溫器中,溫度控制精度可達(dá)0.2℃以下。1234a3211
2、反應(yīng)室中氣體流速較快。因此,在需要改變多元化合物的組分和摻雜濃度時(shí),可以迅速進(jìn)行改變,減小記憶效應(yīng)發(fā)生的可能性。這有利于獲得陡峭的界面,適于進(jìn)行異質(zhì)結(jié)構(gòu)和超晶格、量子阱材料的生長。1234a3211
MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機(jī)化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長源材料,以熱分解反應(yīng)方式在襯底上外延,生長各種Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。1234a3211
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