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延遲充氣也能使閥門有足夠的時間關閉，在經常停電的情況下，延遲充氣是很有用的。為了延遲充氣 愛德華分子泵維修價格， 前級真空必須維持在1 ～1000 mHg （1 10- 3 mmHg ~1 mmHg 或133.3 mPa～133.3 Pa）范圍之內，所以在渦輪分子泵與前級泵之間必須有一個真空閥，或者在前級泵內部裝一個控制閥，該閥應在電源中斷時，使渦輪分子泵與前級泵隔離開來。否則，通過前級泵、前級管道被充氣，并導致了油的污染。