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大多數(shù)渦輪分子泵對于輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對于那些富氫的工藝過程，氦質(zhì)譜檢漏儀等場合均可得到應(yīng)用。有專門設(shè)計用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用于刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕，離子束加工，低壓化學(xué)氣相沉積，外延及離子注入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標(biāo)準(zhǔn)的未加保護(hù)的渦輪分子泵。由于渦輪分子泵屬于傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內(nèi)積存。因而它適于氣體負(fù)荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。